半导体产业的节水之路：高频科技的超纯水循环再生解决方案

半导体产业作为水资源密集型行业，其用水量随着芯片制造工艺的复杂化而急剧增加。如何在保证芯片生产效率的同时，有效降低用水量，实现可持续发展，成为摆在半导体企业面前的重大挑战。

日益增长的用水需求与水资源短缺的矛盾:

芯片制造过程中，各个环节都需要大量的高纯度水，从晶圆清洗到光刻、刻蚀等工艺，都离不开超纯水的支撑。随着5nm、3nm等先进制程工艺的不断发展，对超纯水的需求量也呈指数级增长。与此同时，全球水资源短缺问题日益突出，半导体行业面临着巨大的水资源压力。

半导体废水的复杂性和处理难度：

半导体生产过程中会产生大量的废水，这些废水成分复杂，含有各种化学物质，例如：

• 含氟废水：主要来自刻蚀工艺，氟离子浓度高，毒性强，处理难度大；
• 含磷废水：主要来自清洗工艺，含磷量高，易造成水体富营养化；
• 含氨废水：主要来自清洗和刻蚀工艺，氨氮浓度高，会对环境造成污染；
• 重金属废水：主要来自金属沉积和蚀刻工艺，含有各种重金属离子，具有毒性；
• 有机废水：主要来自光刻和清洗工艺，含有各种有机物，难以生物降解；
• 酸碱废水：主要来自清洗和蚀刻工艺，pH值偏高或偏低，腐蚀性强。

这些废水成分复杂，难以直接排放，需要进行有效的处理和回收利用。

高频科技的解决方案：高效的废水处理与回用技术

高频科技作为一家专注于半导体行业超纯水系统及废水处理的供应商，针对半导体行业的用水难题，提供了先进的超纯水循环再生解决方案。该方案的核心是通过高效的废水处理技术，将半导体生产过程中产生的各种废水进行深度净化，然后回用于生产过程，实现水资源的循环利用。

高频科技的解决方案具有以下优势：

• 定制化工艺流程: 根据不同类型废水的特性，采用定制化的工艺流程，确保高效且经济的处理效果；
• 多级处理技术: 结合多级化学混凝沉淀、氨氮吹脱、生物处理等多种工艺，实现废水的深度净化；
• 广泛的适用性: 能够处理超过15种类型的芯片废水，涵盖先进制程产线可能产生的所有废水种类；
• 高回收率: 通过合理规划工厂用水平衡，打造高效的回用水系统，实现高达90%的整厂用水制备回收率；
• 降低成本: 有效降低企业对新鲜水资源的需求，同时降低用水成本。

未来展望：构建半导体产业的绿色生态

在全球节能减排的大趋势下，半导体企业需要积极探索更加环保可持续的发展模式。高频科技的超纯水循环再生解决方案为半导体行业提供了有效的节水途径，助力企业实现绿色生产，降低运营成本，提升市场竞争力。未来，高频科技将持续深耕废水处理和回用水技术，为构建半导体产业的绿色生态贡献力量，推动半导体行业可持续发展。